Reinigung der CCD ![]()
pop11/02
Reinigung der 2k x 4k SITE CCD
Reinigungsmittel:
---------- Kein Wasser!!, da Lösung des Coating



Ofen zur Erwärmung

Ablufteinheit

Betrachtungseinheit zur Kontrolle

Montieren des CCD auf den Reinigungsträger (30 Grad Schräge, Material Al)

Absichtliche Verunreinigung (z.B. Fett) eines unbrauchbaren CCD

Erwärmung der Flüssigkeiten und des CCD mit Träger auf 50 ° C
(ca. ½ Stunde im Ofen; Temperaturkontrolle )
Achtung Flüssigkeiten kurz vor Siedepunkt

Temperaturkontrolle mit Kontaktthermometer am CCD und an der Flüssigkeit

Nach Entnahme der Flüssigkeiten und des CCD aus dem Ofen, Abspülen des CCD mit Aceton (Achtung nur reine Glasspritzen verwenden)

Anschliessend abspülen der Oberfläche mit Alkohol

Bevor eine Trocknung des Alkohols beginnt (sonst Ränderbildung) sofort mit der Ionisationsluftpistole (im Bild nur eine normale) den Alkohol abblasen
Ebenso den Luftionisierer gegen Aufladungen unter der Laminarbox mitlaufen lassen
Achtung nur geringen Luftstrom wählen und nicht in Richtung Bonddrähte blasen (Gefahr des Abrisses) Schutzblech für die Bonddrähte muss montiert sein

Falls noch Ränder vom Alkohol sichtbar sind, Vorgang mit Alkohol wiederholen
Schnelleres Abblasen des Alkohols und damit geringere Randbildung wurde durch senkrechtes halten des CCD erreicht

Ergebnisse der Reinigung
Die fettigen Aufträge wurden fast völlig beseitigt
Randbildung (besonders im unteren Bereich) war nach mehrmaligen Spülen und Trocknen fast nicht mehr sichtbar

